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光學膜厚量測系列
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3D光學缺陷檢測系列
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集成式膜厚及關鍵尺寸量測系列
集成式膜厚及關鍵尺寸量測系列
明場光學缺陷檢測系列
明場光學缺陷檢測系列
光學缺陷檢測系列
光學缺陷檢測系列
光學關鍵尺寸量測系列
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關于我們

睿勵科學儀器(上海)有限公司是于2005年創建的合資公司,致力于研發、生產和銷售具有自主知識產權的集成電路生產制造工藝裝備產業中的工藝檢測設備。

公司的產品填補國家重大產業鏈中的重要空白,自列入了2005年上海市科教興市重大產業科技攻關項目起,,得到了政府和業界的大力支持和高度關注。

公司將通過不斷吸收和培養人才,建立和發展業界一流的具有自主創新能力的企業和團隊,達到并持續保持在國際及國內相應產業和市場的領先地位。

新聞資訊


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2026-03-30
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近日,7臺高精度光學檢測設備(WSD系列)完成調試與檢驗,正式裝車發往客戶現場。此次集中批量發貨,即是市場對公司產品品質…
睿勵科學儀器新生產中心正式啟用,開啟量檢測新篇章
2024-11-13
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睿勵入圍第五批國家級專精特新“小巨人”企業名單
2023-08-28
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